KP580BE51 wrote:flip_flop wrote:Я на прошлой странице приводил данные о шуме. Приведенный показатель (~1 ug/rtHz) превосходит на 2 порядка соответствующий показатель сегодняшних/вчерашних коммерческих датчиков от АДИ (~100 - 200 ug/rtHz). То есть грубо - вместо 4м можно получить 4 см. Более того, если мерять ускорение отдельно по одной оси, перпендикулярной плоскости кристалла - можно получить снижение шума еще на 2 порядка (~10 ng/rtHz -> ~40 мм
![]()
).
А кроме шума? Что делать к примеру с нелинейностью? Или с дрейфом нуля?
Как раз конденсаторные МЕМС имеют стабильные DC характеристики и низкую температурную чувствительность. Нелинейность некоторая имеется, поэтому электроника должна проектироваться тщательно (полностью дифференциальные схемы, схемы на коммутируемых конденсаторах, компенсация нелинейности).
IEEE wrote:In particular, inertial devices such as MEMS accelerometers and angular rate sensors, pressure sensors, and magnetometers have reached the point where they are reliable, accurate , and affordable. These devices allow the determination of vehicle state with the precision required to enable autonomous flight.
Они говорят про MEMS акселерометры. А инерциальные навигационные системы давно уже вроде как применяются и в ракетах, и в подводных лодках. Вот только MEMS до их уровня доросли, судя по всему.
Ну вот и договорились. МЕМС эволюционируют быстро, примерно как микроэлектроника.